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萬(wàn)級凈化工程作用
日期:2024-07-10 18:46
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摘要:
萬(wàn)級凈化工程作用
潔凈室(萬(wàn)級凈化工程)*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。
潔凈室(萬(wàn)級凈化工程)*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等*大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
(萬(wàn)級凈化工程)美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,*好的等級為Class 1,*差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
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