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凈化工程之無(wú)塵室
日期：2024-07-11 16:10
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摘要：
凈化工程之無(wú)塵室
凈化工程之無(wú)塵室；
凈化工程之無(wú)塵室的建設及驗收標準
一、凈化工程之無(wú)塵室的定義 無(wú)塵室（Clean Room）是指空氣無(wú)塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除室外，并將室內的無(wú)塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內。無(wú)塵室*主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無(wú)塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
二、凈化工程之無(wú)塵室的結構組成 無(wú)塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：
(1)天花板系統：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁； (2)空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等； (3)隔墻板：包括窗戶(hù)、門(mén)； (4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板； (5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等； 無(wú)塵室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：
A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子； C.吸濕性??； D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高； 以上信息概括為：①組合式FFU機組 ②無(wú)塵送風(fēng)管道 ③無(wú)塵回風(fēng)管道 ④送風(fēng)靜壓箱 ⑤高效過(guò)濾器 ⑥多孔擴散板⑦無(wú)塵室吊頂 ⑧無(wú)塵室隔斷 ⑨高效送風(fēng)口 ⑩新風(fēng)口
三、凈化工程之無(wú)塵室的等級
1、無(wú)塵室等級世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
2、209E與209D等*大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無(wú)塵室等級以‵M′字頭表示，如M1、 M1.5、M2.5、M3„..依此類(lèi)推，配合國際公制單位的標準化，M字母后的阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為的，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5„.表示。
3、美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm微粒子為計數標準。日本標準的表示法以Class 1，Class 2，Class 3„„Class8表示，*好的等級為Class 1，*差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。
四、無(wú)塵室控管的項目
1. 能除去空氣中飄游的微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子的產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度的控制。
4. 壓力的調節。
5. 有害氣體的排除。
6. 結構物與隔間的氣密性。
7. 靜電的防制。
8. 電磁干擾預防。
9. **因素的考慮。
10. 節能的考量
五、無(wú)塵室之分類(lèi)
5.1 亂流式(Turbulent Flow) 空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，無(wú)塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵室等級缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之無(wú)塵度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
5.2 層流式(Laminar) 層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。 缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無(wú)塵度，在制程 中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。 5.3 復合式(Mixed Type)： 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超無(wú)塵之空氣。
(1)無(wú)塵隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使無(wú)塵度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。 無(wú)塵隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)無(wú)塵管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將無(wú)塵度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無(wú)塵度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot)：將無(wú)塵室等級10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內之產(chǎn)品制程區的無(wú)塵度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；無(wú)塵工作臺、無(wú)塵工作棚、無(wú)塵風(fēng)柜即屬此類(lèi)。 無(wú)塵工作臺：等級Class 1~100級。 無(wú)塵工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之無(wú)塵空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
六、無(wú)塵室氣流之流動(dòng)
無(wú)塵室的無(wú)塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、 擴散受到氣流的支配。 無(wú)塵室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持無(wú)塵空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 無(wú)塵室內的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素，一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區域，易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無(wú)塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的無(wú)塵度水準之時(shí)，能以*適當的風(fēng)速供應，以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。 另一方面欲達到無(wú)塵室無(wú)塵度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現高無(wú)塵度事實(shí)上很困難。 垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無(wú)塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。 一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。 無(wú)塵室內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之無(wú)塵度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現象減少*低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
七、無(wú)塵室工程施工
1．無(wú)塵室施工應在土建工程完成，清潔好現場(chǎng)后進(jìn)行
2．無(wú)塵室施工應按一定程序進(jìn)行，就避免系統安裝時(shí)的帶塵作業(yè)，安裝高效過(guò)濾器或送風(fēng)末端時(shí)，必須避免帶塵作業(yè)。
3．無(wú)塵室施工程序見(jiàn)下圖（其他輔助用房可參照此程序）。
4．施工安裝過(guò)程中必須隨時(shí)做好以下記錄 (1)土建隱蔽工程記錄 (2)管線(xiàn)隱蔽工程系統封閉記錄 (3)設備開(kāi)箱檢查記錄 (4)管道壓力試驗記錄 (5)管道純氣系統吹洗記錄 (6)風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7)風(fēng)管清掃記錄 (8)設備單機試運轉記錄 (9)系統聯(lián)合試運轉記錄 (10)中間驗收單
八、無(wú)塵室工程評定 無(wú)塵室工程驗收，一般由法人組織驗收平定組進(jìn)行現場(chǎng)檢查?，F場(chǎng)檢查發(fā)現的工程缺陷分為嚴重缺陷和一般缺陷：凡關(guān)鍵項目不完整、不齊全的屬?lài)乐厝毕?；凡一般項目不完整、不齊全的屬一般缺陷。 驗收時(shí)不應有嚴重缺陷，一般缺陷比例不超過(guò)檢查項目的20%。 如果雖然無(wú)嚴重缺陷，但一般缺陷超過(guò)20%～40%，或嚴重缺陷不超過(guò)3項，一般缺陷比例不超過(guò)20%，一般會(huì )限期改正。嚴重缺陷和一般缺陷超過(guò)以上數值，通過(guò)的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢測檢查。
九、無(wú)塵車(chē)間設計及驗收規范 無(wú)塵車(chē)間作為一個(gè)“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn)，盡管任何建筑工程都包括設計、竣工驗收、日常維護等環(huán)節，但是無(wú)塵車(chē)間還需要通過(guò)調試、檢測和綜合評價(jià)予以確認，絕不可草率行事，匆匆投入運營(yíng)。
9．1 無(wú)塵車(chē)間設計內容有：
1. 合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn)的建筑構造和材料；
3. 無(wú)塵車(chē)間設計應依據當時(shí)當地的能源供應背景，選定可靠和經(jīng)濟的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調凈化和排風(fēng)系統；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設備； 無(wú)論是新建還是重新改造的無(wú)塵車(chē)間，都一定依照國家相關(guān)標準、規范進(jìn)行。
9.2 無(wú)塵車(chē)間各項工程的外觀(guān)檢查應符合以下要求：
1. 各種管道、自動(dòng)滅火裝置及空氣凈化設備的安裝應正確、牢固、嚴密；
2. 高、中、初效過(guò)濾器與支撐框架的連接以及風(fēng)管與設備的連接處應可靠密封；
3. 各類(lèi)調節裝置應嚴密、靈活、操作方便；
4. 各種空氣凈化設備、靜壓箱、通風(fēng)系統等要清洗干凈，確保無(wú)塵；
5. 無(wú)塵車(chē)間的內墻壁、頂棚表面、地面應光滑、平整、色澤均勻、不起灰塵、地板靜電等；
6. 送、回風(fēng)口及各類(lèi)末端裝置、這類(lèi)管道、照明和動(dòng)力線(xiàn)配管等穿越無(wú)塵車(chē)間時(shí)，穿越處的密封處理 應嚴密可靠；
7. 無(wú)塵車(chē)間內的各種刷涂、保溫工程等應符合有關(guān)規定；
9.3 無(wú)塵車(chē)間竣工驗收所需文件：
1. 設計文件、設計變更說(shuō)明文件及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；
2. 主要材料、設備和調節裝置、自動(dòng)控制系統等出廠(chǎng)合格證書(shū)或檢驗文件；
3. 各項工程質(zhì)量檢驗評定表；
4. 開(kāi)工、竣工報告、土建隱蔽工程系統和管線(xiàn)隱蔽工程系統封閉記錄、設備開(kāi)箱檢查記錄、管道壓力 實(shí)驗記錄、管道系統吹洗記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗收單和竣工驗收單；
5. 無(wú)塵車(chē)間里面的各種設備性能指標記錄
9.4 無(wú)塵車(chē)間綜合性能評價(jià)： 無(wú)塵車(chē)間竣工驗收工作完成后，一般應由具有相關(guān)資質(zhì)或相關(guān)授權具有無(wú)塵車(chē)間檢測經(jīng)驗、擁有先進(jìn)完備的檢測儀器、儀表的第三方來(lái)主持無(wú)塵車(chē)間的檢測工作，承建方、設計、施工、監管單位應在現場(chǎng)配合，以完成對無(wú)塵車(chē)間的綜合性能評價(jià)。
9.5 總結 無(wú)塵車(chē)間的設計、施工、安裝、維護等一定按照國際標準化組織ISO 14644的相關(guān)標準規范進(jìn)行，必須做到無(wú)塵、無(wú)菌、節能、防火、** 附、無(wú)塵室國內標準規范
十． 無(wú)塵室的國內標準規范
（1）.無(wú)塵廠(chǎng)房設計規范 GB50073-2001[2] （2）.醫院無(wú)塵手術(shù)部建筑技術(shù)規范GB50333-2002 （3）.醫藥工業(yè)無(wú)塵廠(chǎng)房設計規范GB 50457-2008 （4）.傳染病醫院建筑設計規范 （5）.醫藥工業(yè)無(wú)塵室（區）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996 （6）.QS認證質(zhì)量手冊 （7）.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范 2． 無(wú)塵室國際標準規范 （1）ISO14644-1 空氣無(wú)塵度等級劃分[3] （2）ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符性的測試和監測技術(shù)要求 （3）ISO14644-3 測試方法 （4）ISO14644-4 設計建造啟動(dòng) （5）ISO14644-5 運行(Operations) （6）ISO14644-6 術(shù)語(yǔ)和定義 （7）ISO14644-7 分離裝置(無(wú)塵空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設備 （8）ISO14644-8 分子污染 （9）ISO14644-9 無(wú)塵化學(xué)品（液體）
凈化工程之無(wú)塵室；
凈化工程之無(wú)塵室的建設及驗收標準
一、凈化工程之無(wú)塵室的定義 無(wú)塵室（Clean Room）是指空氣無(wú)塵度達到規定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除室外，并將室內的無(wú)塵度、溫度、濕度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內。無(wú)塵室*主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無(wú)塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
二、凈化工程之無(wú)塵室的結構組成 無(wú)塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：
(1)天花板系統：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁； (2)空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等； (3)隔墻板：包括窗戶(hù)、門(mén)； (4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板； (5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等； 無(wú)塵室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：
A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子； C.吸濕性??； D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高； 以上信息概括為：①組合式FFU機組 ②無(wú)塵送風(fēng)管道 ③無(wú)塵回風(fēng)管道 ④送風(fēng)靜壓箱 ⑤高效過(guò)濾器 ⑥多孔擴散板⑦無(wú)塵室吊頂 ⑧無(wú)塵室隔斷 ⑨高效送風(fēng)口 ⑩新風(fēng)口
三、凈化工程之無(wú)塵室的等級
1、無(wú)塵室等級世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
2、209E與209D等*大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無(wú)塵室等級以‵M′字頭表示，如M1、 M1.5、M2.5、M3„..依此類(lèi)推，配合國際公制單位的標準化，M字母后的阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為的，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5„.表示。
3、美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm微粒子為計數標準。日本標準的表示法以Class 1，Class 2，Class 3„„Class8表示，*好的等級為Class 1，*差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。
四、無(wú)塵室控管的項目
1. 能除去空氣中飄游的微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子的產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度的控制。
4. 壓力的調節。
5. 有害氣體的排除。
6. 結構物與隔間的氣密性。
7. 靜電的防制。
8. 電磁干擾預防。
9. **因素的考慮。
10. 節能的考量
五、無(wú)塵室之分類(lèi)
5.1 亂流式(Turbulent Flow) 空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，無(wú)塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵室等級缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之無(wú)塵度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
5.2 層流式(Laminar) 層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。 缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無(wú)塵度，在制程 中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。 5.3 復合式(Mixed Type)： 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超無(wú)塵之空氣。
(1)無(wú)塵隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使無(wú)塵度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。 無(wú)塵隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)無(wú)塵管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將無(wú)塵度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無(wú)塵度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot)：將無(wú)塵室等級10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內之產(chǎn)品制程區的無(wú)塵度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；無(wú)塵工作臺、無(wú)塵工作棚、無(wú)塵風(fēng)柜即屬此類(lèi)。 無(wú)塵工作臺：等級Class 1~100級。 無(wú)塵工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之無(wú)塵空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
六、無(wú)塵室氣流之流動(dòng)
無(wú)塵室的無(wú)塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、 擴散受到氣流的支配。 無(wú)塵室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持無(wú)塵空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 無(wú)塵室內的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素，一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區域，易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無(wú)塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的無(wú)塵度水準之時(shí)，能以*適當的風(fēng)速供應，以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。 另一方面欲達到無(wú)塵室無(wú)塵度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現高無(wú)塵度事實(shí)上很困難。 垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無(wú)塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。 一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。 無(wú)塵室內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之無(wú)塵度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現象減少*低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
七、無(wú)塵室工程施工
1．無(wú)塵室施工應在土建工程完成，清潔好現場(chǎng)后進(jìn)行
2．無(wú)塵室施工應按一定程序進(jìn)行，就避免系統安裝時(shí)的帶塵作業(yè)，安裝高效過(guò)濾器或送風(fēng)末端時(shí)，必須避免帶塵作業(yè)。
3．無(wú)塵室施工程序見(jiàn)下圖（其他輔助用房可參照此程序）。
4．施工安裝過(guò)程中必須隨時(shí)做好以下記錄 (1)土建隱蔽工程記錄 (2)管線(xiàn)隱蔽工程系統封閉記錄 (3)設備開(kāi)箱檢查記錄 (4)管道壓力試驗記錄 (5)管道純氣系統吹洗記錄 (6)風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7)風(fēng)管清掃記錄 (8)設備單機試運轉記錄 (9)系統聯(lián)合試運轉記錄 (10)中間驗收單
八、無(wú)塵室工程評定 無(wú)塵室工程驗收，一般由法人組織驗收平定組進(jìn)行現場(chǎng)檢查?，F場(chǎng)檢查發(fā)現的工程缺陷分為嚴重缺陷和一般缺陷：凡關(guān)鍵項目不完整、不齊全的屬?lài)乐厝毕?；凡一般項目不完整、不齊全的屬一般缺陷。 驗收時(shí)不應有嚴重缺陷，一般缺陷比例不超過(guò)檢查項目的20%。 如果雖然無(wú)嚴重缺陷，但一般缺陷超過(guò)20%～40%，或嚴重缺陷不超過(guò)3項，一般缺陷比例不超過(guò)20%，一般會(huì )限期改正。嚴重缺陷和一般缺陷超過(guò)以上數值，通過(guò)的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢測檢查。
九、無(wú)塵車(chē)間設計及驗收規范 無(wú)塵車(chē)間作為一個(gè)“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn)，盡管任何建筑工程都包括設計、竣工驗收、日常維護等環(huán)節，但是無(wú)塵車(chē)間還需要通過(guò)調試、檢測和綜合評價(jià)予以確認，絕不可草率行事，匆匆投入運營(yíng)。
9．1 無(wú)塵車(chē)間設計內容有：
1. 合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn)的建筑構造和材料；
3. 無(wú)塵車(chē)間設計應依據當時(shí)當地的能源供應背景，選定可靠和經(jīng)濟的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調凈化和排風(fēng)系統；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設備； 無(wú)論是新建還是重新改造的無(wú)塵車(chē)間，都一定依照國家相關(guān)標準、規范進(jìn)行。
9.2 無(wú)塵車(chē)間各項工程的外觀(guān)檢查應符合以下要求：
1. 各種管道、自動(dòng)滅火裝置及空氣凈化設備的安裝應正確、牢固、嚴密；
2. 高、中、初效過(guò)濾器與支撐框架的連接以及風(fēng)管與設備的連接處應可靠密封；
3. 各類(lèi)調節裝置應嚴密、靈活、操作方便；
4. 各種空氣凈化設備、靜壓箱、通風(fēng)系統等要清洗干凈，確保無(wú)塵；
5. 無(wú)塵車(chē)間的內墻壁、頂棚表面、地面應光滑、平整、色澤均勻、不起灰塵、地板靜電等；
6. 送、回風(fēng)口及各類(lèi)末端裝置、這類(lèi)管道、照明和動(dòng)力線(xiàn)配管等穿越無(wú)塵車(chē)間時(shí)，穿越處的密封處理 應嚴密可靠；
7. 無(wú)塵車(chē)間內的各種刷涂、保溫工程等應符合有關(guān)規定；
9.3 無(wú)塵車(chē)間竣工驗收所需文件：
1. 設計文件、設計變更說(shuō)明文件及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；
2. 主要材料、設備和調節裝置、自動(dòng)控制系統等出廠(chǎng)合格證書(shū)或檢驗文件；
3. 各項工程質(zhì)量檢驗評定表；
4. 開(kāi)工、竣工報告、土建隱蔽工程系統和管線(xiàn)隱蔽工程系統封閉記錄、設備開(kāi)箱檢查記錄、管道壓力 實(shí)驗記錄、管道系統吹洗記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗收單和竣工驗收單；
5. 無(wú)塵車(chē)間里面的各種設備性能指標記錄
9.4 無(wú)塵車(chē)間綜合性能評價(jià)： 無(wú)塵車(chē)間竣工驗收工作完成后，一般應由具有相關(guān)資質(zhì)或相關(guān)授權具有無(wú)塵車(chē)間檢測經(jīng)驗、擁有先進(jìn)完備的檢測儀器、儀表的第三方來(lái)主持無(wú)塵車(chē)間的檢測工作，承建方、設計、施工、監管單位應在現場(chǎng)配合，以完成對無(wú)塵車(chē)間的綜合性能評價(jià)。
9.5 總結 無(wú)塵車(chē)間的設計、施工、安裝、維護等一定按照國際標準化組織ISO 14644的相關(guān)標準規范進(jìn)行，必須做到無(wú)塵、無(wú)菌、節能、防火、** 附、無(wú)塵室國內標準規范
十． 無(wú)塵室的國內標準規范
（1）.無(wú)塵廠(chǎng)房設計規范 GB50073-2001[2] （2）.醫院無(wú)塵手術(shù)部建筑技術(shù)規范GB50333-2002 （3）.醫藥工業(yè)無(wú)塵廠(chǎng)房設計規范GB 50457-2008 （4）.傳染病醫院建筑設計規范 （5）.醫藥工業(yè)無(wú)塵室（區）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996 （6）.QS認證質(zhì)量手冊 （7）.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范 2． 無(wú)塵室國際標準規范 （1）ISO14644-1 空氣無(wú)塵度等級劃分[3] （2）ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符性的測試和監測技術(shù)要求 （3）ISO14644-3 測試方法 （4）ISO14644-4 設計建造啟動(dòng) （5）ISO14644-5 運行(Operations) （6）ISO14644-6 術(shù)語(yǔ)和定義 （7）ISO14644-7 分離裝置(無(wú)塵空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設備 （8）ISO14644-8 分子污染 （9）ISO14644-9 無(wú)塵化學(xué)品（液體）
